項目描述:
北京大學(xué)東莞光電研究院搭建的一套GaN單晶襯底制備的HVPE外延設(shè)備，
需要的控制系統(tǒng)包括：1.壓力控制系統(tǒng)；2.溫度控制系統(tǒng)；3.監(jiān)控報警系統(tǒng)；4.曲線采集/歷史曲線分析；5. 數(shù)據(jù)導(dǎo)入/導(dǎo)出/存儲。
逸維產(chǎn)品包括半導(dǎo)體、汽車新能源、生物醫(yī)藥、環(huán)保與3C生產(chǎn)線控制系統(tǒng)。
技術(shù)要求與難點
4溫區(qū)獨立控溫
18路質(zhì)量流量計控制
溫度控制要求：升降溫要穩(wěn)定，在設(shè)定的時間內(nèi)達到設(shè)定溫度；溫度波動需要<2度；恒溫控制需要在<0.5度
壓力控制要求：腔內(nèi)壓力控制精度要<1torr，需要帶有自動保護功能。
流量計控制：具有實時數(shù)據(jù)巡檢功能，流量計開啟順序可自定義設(shè)定功能。
逸維產(chǎn)品包括半導(dǎo)體、汽車新能源、生物醫(yī)藥、環(huán)保與3C生產(chǎn)線控制系統(tǒng)。
專項定制
逸維產(chǎn)品包括半導(dǎo)體、汽車新能源、生物醫(yī)藥、環(huán)保與3C生產(chǎn)線控制系統(tǒng)。
